等離子體技術工藝簡單，吸附法要考慮吸附劑的定期 換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過高)會造成催化劑失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，并可同時混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。
低溫等離子體去除污染物的機理：
(1) 電場＋電子→ 電子
(2) 電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子 先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外， 電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子體去除污染物的原理：
在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子 物質，或使物質轉變成 或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理中的一項具有強潛在優勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。
低溫等離子體空氣凈化設備的性能特點：
1、“低溫等離子體”設備屬科技產品，自動化程度高,工藝簡潔,操 作簡單,方便.無需專人看管，遇故障自動停機報警。
2、節能：運行費用低廉是“低溫等離子體”核心技術之一,處理 5000M3/h臭氣，耗電量僅1000W。
3、適應范圍廣：在高溫350℃,低溫-20℃的環境內,凈化區均可運轉,特別 是在潮濕,甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。
4、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、環氧樹脂等材料組成， 性強，在酸性氣體中。使用壽命長達10年以上。
5、“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下， ，對人體不 構成任何傷害。
6、“低溫等離子體”設備組合性強：可以竄并聯混合應用，在處理高濃 度異味氣體時能發揮明顯優勢。
等離子廢氣凈化設備廣泛用于：治理油煙粉塵，如大型火力發 電廠、卷煙廠、紡織廠、印刷廠、造紙廠、鋼鐵廠、水泥廠等。治理廢氣、異 味氣體，如污水、垃圾處理廠、泵站、石化廠、化工廠、制藥廠、卷煙廠 、香精廠 、屠宰場等?？諝鈨艋矫?，如醫院、餐飲、賓館、娛樂場所、車 船，候車室等公共場所、及辦公室、家庭、轎車、實驗室等。
